Метрологічний аналіз та метрологічне забезпечення атомно-силової мікроскопії

Abstract

Обгрунтовано необхідність розроблення та впровадження стандартів щодо метрологічного забезпечення скануючих зондових мікроскопів як найбільш перспективних засобів вимірювальної техніки в області нанотехнологій та їх використання при сертифікаційних, контрольних, інспекційних випробуваннях. Проведено метрологічний аналіз атомно-силового мікроскопа NanoScope IIIa Dimension 3000, розроблена його метрологічна модель та методика і засоби його калібрування. На основі експериментальних даних визначені розкиди значень геометричних параметрів поверхонь у нанометровому діапазоні 3D-вимірювань, викликані впливом різних джерел невизначеності.

Обосновано необходимость разрабатывания и внедрения стандартов относительно метрологического обеспечения сканирующих зондовых микроскопов как наиболее перспективных средств измерительной техники в области нанотехнологий и их использования при сертификационных, контрольных, инспекционных испытаниях. Проведен метрологический анализ атомно-силового микроскопа NanoScope IIIa Dimension 3000, разработана его метрологическая модель и методика и средства его калибрования. На основе экспериментальных данных определены разбросы значений геометрических параметров поверхностей в нанометровом диапазоне 3D- измерений, вызванные влиянием различных источников неопределенности.

Grounded necessity of development and introduction of standards in relation to the metrology providing of sweepable probe microscopes as most perspective facilities of measuring technique in the area of nanotechnology and their using for the certification,, inspection proof-testing. The metrology analysis of atomic-power microscope of NanoScope IIIa Dimension 3000 is conducted, his metrology model and method and facilities of his calibration is developed. On the basis of experimental information variations of values of geometrical parameters of surfaces are determined in the nanometric range of 3D-measurement, caused by influence of different sources of uncertainty.